ТУ 48-20-90-82
Марки особо чистых графитов ГМЗ, ППГ, 3ОПГ, МГ, МГ-1, классов чистоты ОСЧ-7-2, ОСЧ-7-3, содержание примесей по классам чистоты не более 5*10-3 и 6,2*10-4 % соответственно.
Графиты малозольные особой чистоты применяются в качестве технологической оснастки при получении полупроводниковых материалов и веществ особой чистоты, не вступающих в химической взаимодействие с углеродом.